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    激光尺

    • 01 LE系列激光尺

      LE系列激光尺采用激光干涉測量技術,以高穩定度的激光波長為基準,實現高精度、高分辨率的直線位移測量;
      LE系列激光尺采用先進的熱控制穩頻技術將激光穩頻精度保持在±0.05ppm。精確穩定的激光源和精準的環境補償,保證±0.5um/m的測量精度;
      LE系列激光尺可以實現長達20m的精確測量,在長距離測量應用上有突出的優勢;最高4m/s的測量速度,可滿足幾乎所有的測量應用;測量分辨率可配置,最高為1nm。

     
    • 02 應用案例及領域

      科德數控股份有限公司生產的KGHM2560U高速橋式龍門機床,X軸全行程6m,配置LE系列激光尺作為全閉環反饋,定位精度達到6um,重復定位精度達到3um;
      LE系列激光尺可用于精密機床、半導體精密加工設備、測量機等其他需要高精度直線位置反饋的應用場合。
     

    參數

    PARAMETER

    項目 名稱 參數
    性能參數 激光頻率穩定度
    線性定位精度
    分辨率
    測量速度
    測量距離
    ±0.05ppm
    ±0.5um/m(±0.5ppm)
    最高1nm 可配置
    4m/s
    20m
    工作條件 工作溫度
    工作壓力
    工作濕度
    0℃~40℃
    60KPa~120KPa
    0%~95% 非冷凝
    激光參數 激光波長
    激光功率
    激光穩定時間
    出射光斑直徑
    632.8nm
    <1mw
    ≈10min
    6mm
    環境補償傳感器
    環境溫度測量精度
    大氣壓力測量精度
    大氣濕度測量精度
    材料溫度測量精度
    ±0.1℃
    ±100Pa
    ±5%
    ±0.1℃
    電氣特性
    電源電壓
    電源電流
    調試接口
    位置數據反饋接口
    通用I/O接口
    24V±10%
    2.0A 最大
    USB
    RS422/RS485   串行數據:BISS_C   增量數據:TTL增量方波、1Vpp弦波
    24V帶隔離通用I/O點

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